[发明专利]高精细金属图案的形成方法、高精细金属图案及电子构件有效
申请号: | 201480002136.4 | 申请日: | 2014-03-06 |
公开(公告)号: | CN104583455B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 义原直;胜田晴彦;片山嘉则;白发润;村川昭;富士川亘;齐藤公惠 | 申请(专利权)人: | DIC株式会社 |
主分类号: | C23C18/30 | 分类号: | C23C18/30;H05K3/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供提供利用印刷工艺与镀敷工艺的复合技术形成图案剖面形状优异的高精细金属图案的方法,并且提供通过对以镀核图案为代表的层叠体的各界面赋予优异的密合性而能够适合用作高精度的电子构件的高精细金属图案及其制造方法。本发明提供高精细金属图案形成方法、利用该方法得到的高精细金属图案及包含该高精细金属图案的电子构件,其中,所述高精细金属图案形成方法包括:(1)在基板上涂布包含重均分子量为5千以上的聚氨酯树脂或乙烯基树脂、和介质的树脂组合物而形成受理层的工序;(2)利用凸版反转印刷法印刷含有成为镀核的粒子的墨液,在受理层上形成镀核图案的工序;(3)利用非电解镀使金属向所形成的镀核图案上析出的工序。 | ||
搜索关键词: | 金属图案 高精细 电子构件 图案 受理层 凸版反转印刷 聚氨酯树脂 树脂组合物 乙烯基树脂 重均分子量 析出 非电解镀 复合技术 剖面形状 印刷工艺 层叠体 密合性 镀敷 基板 墨液 粒子 金属 印刷 赋予 制造 | ||
【主权项】:
1.一种高精细金属图案形成方法,其包括:(1)在基板上涂布包含重均分子量为5千以上的聚氨酯树脂(a1)或乙烯基树脂(a2)、和介质(a3)的树脂组合物(a)而形成受理层(A)的工序;(2)利用凸版反转印刷法印刷含有成为镀核的粒子(b1)的墨液(b),在受理层(A)上形成镀核图案(B)的工序;和(3)利用非电解镀使金属向工序(2)中形成的镀核图案(B)上析出的工序,其中,成为镀核的粒子(b1)是体积平均粒径Mv为2~100nm的金属纳米粒子,该金属纳米粒子是被含有碱性氮原子的有机化合物保护且分散到所述墨液(b)中的粒子。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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