[发明专利]功能性被膜、浸液部件、浸液部件的制造方法、曝光装置、以及设备制造方法有效
| 申请号： | 201480004940.6 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN104919078B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 岸梅工;泷优介 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 苗堃,金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种施加于基材表面的功能性被膜，包含掺杂有Ti的四面体非晶碳的膜(ta‑CTi膜)。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 性被膜 浸液 部件 制造 方法 曝光 装置 以及 设备 | ||
【主权项】：
一种功能性被膜，是被施加于基材的表面的功能性被膜，所述基材以浸渍于液体的状态使用，包含掺杂有Ti的四面体非晶碳的膜、即ta‑C:Ti膜，所述膜的组成中，由下述的式(1)定义的、Ti相对于C的原子比率α即Ti/C原子比率为0.03～0.09，α＝(Ti/C原子比率)＝(Ti原子数)/{(sp3‑C原子数)+(sp2‑C原子数)}…(1)其中，(Ti原子数):占所述膜的Ti原子数，(sp3‑C原子数):占所述膜的sp3杂化轨道的碳原子数，(sp2‑C原子数):占所述膜的sp2杂化轨道的碳原子数。
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