[发明专利]滑动式回压关断阀

摘要

本发明涉及一种回压关断阀，该回压关断阀在维持应用于半导体及LCD等的半导体制造过程或化学产品制造过程等的一定压力或者将气体等流体的流动维持正方向的配管系统突然发生大气流入或流体反向流动现象时迅速地关断而能够予以防止，更具体地说，涉及如下的滑动式回压关断阀：其包括：阀主体，其由流体流入部、流体流出部及流体通过空间部构成；移送体，其上部安装了所述流体回压时关断流体流动的关断板，且在回压关断时，该移送体向所述流体通过空间部水平移动；以及移送体移动单元，其使所述移送体水平移动，平时由于阀的流体空间通路没有阻碍物而像直管一样地不妨碍流体的流动，当配管内发生回压时所述移送体水平移动到关断位置，在所述关断位置，安装在所述移送体的关断板浮起而关断流体的流动，从而在发生粉末的制程也能顺利地运行。

主权项

一种滑动式回压关断阀，其特征在于，包括：阀主体，其上下配置有流体流入部和流体流出部，且在所述流体流入部与流体流出部之间包括流体通过空间部，该流体通过空间部形成了用于所述流体通过的空间；移送体，其上部安装有封闭所述流体流入部的关断板，在关断流体时，该移送体移动到所述流体通过空间部的位置；以及移送体移动单元，其移动所述移送体，在从外部发生回压生成信号时，所述移送体移动单元将所述移送体移送到封闭所述流体流入部的位置，安装在所述移送体上的关断板因所述阀主体内的回压所引起的压力差而浮起，从而封闭所述流体流入部来关断回压，所述关断板为圆板形，其外径大于所述流体流入部的直径，在所述关断板的下部面形成有突起部，当所述关断板被安装于所述移送体时，该突起部限制所述关断板的水平移动，在所述阀主体还包括防粉末流入缸，在所述防粉末流入缸的内部具备利用从外部所供应的压缩空气而上下移动的防粉末流入环，通过所述防粉末流入环阻止粉末流入到收容所述移送体和移送体移动单元的空间内，在从外部发生回压时，将压缩空气供应到防粉末流入缸，使得所述防粉末流入环先开始开放，为了即使在所述防粉末流入环完全开放之前也能使所述移送体移动单元将所述移送体移送到封闭所述流体流入部的位置，在所述移送体中安装所述关断板的移送体主体的下部形成有一定厚度(t)的空间。