[发明专利]具有受控的密封间隙的基板支撑件

摘要

此处提供基板支撑件的实施方式。在某些实施方式中，基板支撑件可包括支撑板，所述支撑板具有支撑表面以支撑基板；支撑环，所述支撑环用以于支撑表面的周边处支撑基板；及多个第一支撑元件，所述多个第一支撑元件布置于支撑环中，其中各个第一支撑元件的端部分被抬升高于支撑环的上部表面，以在支撑环的上部表面与布置于多个第一支撑元件的端部分上的虚构平面之间界定间隙。

主权项

一种基板支撑件，包含：支撑板，所述支撑板具有支撑表面以支撑基板，其中所述支撑表面横跨所述支撑板的整个宽度；支撑环，所述支撑环用以于所述支撑板的周边处支撑基板；和多个第一支撑元件，所述多个第一支撑元件布置于所述支撑环中，其中各个所述第一支撑元件的端部分被抬升高于所述支撑环的上部表面，以在所述支撑环的所述上部表面与布置于所述多个第一支撑元件的所述端部分上的虚构平面之间界定间隙；真空源；以及一个或更多个真空口,所述一个或更多个真空口布置于所述支撑板的所述支撑表面中，其中布置于所述支撑表面中的所有真空口流体耦接至所述真空源，并且其中所述支撑环沿所述支撑环的整个周长安置在所述支撑板上。