[发明专利]透光型压印用模具、大面积模具的制造方法

摘要

本发明提供一种压印方法，其具备曝光工序，在向涂布于大面积基材上的光固化性树脂按压透光型压印用模具的状态下，以使照射到通过为使透明基材的凹凸图案再现而设置的遮光部件(5)而固化的遮光区域的光固化性树脂的光量少于照射到位于遮光区域以外的透光区域的光固化性树脂的光量的方式向光固化性树脂照射固化光，由此使位于所述遮光区域的光固化性树脂(9b)半固化；脱离工序，在曝光工序后使模具从光固化性树脂脱离；移动工序，接下来，模具的透光区域的端部以位于半固化而成的光固化性树脂(9b)上的方式使模具移动；反复工序，在移动后的位置进行曝光工序和脱离工序。

主权项

一种透光型压印用模具，其包含具有形成有凹凸图案的图案区域的透明基材和设置在所述图案区域上的遮光部件，所述遮光部件进行如下设置：在所述图案区域的端部的局部区域，以使所述凹凸图案的凹部和凸部双方连续的方式覆盖所述凹凸图案且所述遮光部件的表面形状使所述凹凸图案再现。