[发明专利]可变滤光器及基于此的波长选择传感器

摘要

本发明披露了一种包括带通滤光器和阻挡滤光器的可变滤光器。带通滤光器包括由交替布置的第一层和第二层所组成的叠层，阻挡滤光器包括由交替布置的第三层和第四层所组成的叠层。第一材料、第二材料和第四材料分别包含不同的材料，使得第一材料的折射率小于第二材料的折射率，第二材料的折射率小于第四材料的折射率，且第二材料的吸收系数小于第四材料的吸收系数。可以对材料进行选择，以确保阻挡滤光器内的高折射率对比度和带通滤光器内的低光损耗。第一层至第四层可以直接沉积在光电探测器阵列上。

主权项

一种滤光器，所述滤光器在波长范围内具有横向可变的透射波长，所述滤光器包括：带通滤光器，其包括由交替布置的第一层和第二层组成的叠层，所述第一层和第二层分别包括第一材料和第二材料，并具有横向变化的厚度，用于提供所述横向可变的透射波长；和阻挡滤光器，其包括由交替布置的第三层和第四层组成的叠层，所述第三层和第四层分别包括第三材料和第四材料，并具有与所述第一层和所述第二层的所述横向变化的厚度相协调的横向变化的厚度，用于阻挡波长范围内的大于或小于所述横向可变的透射波长的波长；其中所述第一材料、所述第二材料和所述第四材料分别包括不同的材料，使得所述第一材料的折射率小于所述第二材料的折射率，所述第二材料的折射率小于所述第四材料的折射率，且所述第二材料的吸收系数小于所述第四材料的吸收系数；且其中所述带通滤光器还包括至少一个第五层，所述第五层包括所述第四材料，且所述第五层被布置于所述带通滤光器内的光驻波的局部最小值的区域内，由此所述带通滤光器的阻挡波长区被拓宽，且所述带通滤光器的厚度被减小。