[发明专利]复合带电粒子检测器、带电粒子束装置以及带电粒子检测器

摘要

本发明的目的在于，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，提取出因某特定的带电粒子束产生的信号，例如在FIB‑SEM装置中分离因离子束照射而产生的二次电子信号和因电子束照射而产生的二次电子信号，涉及高速地调制带电粒子束的照射条件，检测与调制周期同步的信号。另外，涉及对来自发光特性不同的2种以上的荧光体的发光进行分光而检测各自的信号强度，根据设定只向样本照射第一带电粒子束时的第一信号强度和只向样本照射第二带电粒子束时的第二信号强度的比率的机构的比率来处理信号。根据本发明，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，也能够只提取出因希望的带电粒子束产生的信号。例如在FIB‑SEM装置中，能够在使用了二次电子的FIB加工中进行SEM观察。

主权项

一种复合带电粒子束装置，其具备向样本照射第一带电粒子束的第一带电粒子束柱、向样本照射第二带电粒子束的第二带电粒子束柱、检测从样本释放的带电粒子的带电粒子检测器、根据来自上述带电粒子检测器的信号输出图像的图像显示机构，该复合带电粒子束装置的特征在于，具备：调制机构，其以比第一带电粒子束的扫描周期快的周期调制第一带电粒子束的照射条件；控制器，其控制上述调制机构的调制周期；以及检测机构，其检测与上述调制周期同步的信号，通过检测与上述调制周期同步的信号，与因第二带电粒子束产生的信号分离地检测出因第一带电粒子束产生的信号，具备以比第一带电粒子束的扫描周期快的周期调制带电粒子束的照射电流量的机构来作为上述调制机构。