[发明专利]角速度传感器及其制造方法

摘要

用薄膜形成技术形成构成隔膜部(12)的1层以上的振动板层(21,22)。设根据角速度传感器(10)的构造体的尺寸及材料的弹性参数计算的共振振动模式的共振频率为f千赫，设重锤部(14)的质量为M毫克，设隔膜部(12)的周长为r米，设压电体层(32)上产生的应力为σp帕斯卡，设膜厚为tp米，设由包括下部电极和振动板层(21,22)的多层构成的振动板部分的从重锤部(14)一侧开始数第n层上产生的应力为σn帕斯卡，设膜厚为tn米时，(n是自然数)，用Teff＝r(σptp+Σσntn)/M表示的Teff满足{(‑0.36f2+210)/33}≤Teff≤{(0.44f2+210)/33}。

主权项

一种角速度传感器，具备：具有挠性的隔膜部，该隔膜部具有层压构造，该层压构造是层压了图案配置有驱动电极部和检测电极部的上部电极、压电体层、下部电极及1层以上的振动板层而成的；台座部，支承上述隔膜部的外周；以及重锤部，与上述隔膜部的中心部接合，通过经由上述驱动电极部对上述压电体层施加电场而利用压电体的逆压电效应使上述重锤部振动，通过压电效应由上述检测电极部检测基于哥氏力而在上述重锤部产生的移位，所述角速度传感器的特征在于，上述振动板层是通过薄膜形成技术而成膜的，在设根据上述角速度传感器的构造体的尺寸及构成上述构造体的材料的弹性参数计算的共振振动模式的共振频率为f千赫，设上述重锤部的质量为M毫克，设上述隔膜部的周长为r米，设上述压电体层上产生的拉伸方向的残留应力为σp帕斯卡，设上述压电体层的膜厚为tp米，设由包括上述下部电极和上述1层以上的振动板层的多层构成的振动板部分的从上述重锤部一侧开始数第n层上产生的拉伸方向的残留应力为σn帕斯卡，设上述第n层的膜厚为tn米时，若设n为自然数，则以[数式1]Teff=r(σptp+Σnσntn)M]]>表示的Teff满足[数式2]-0.36f2+21033≤Teff≤0.44f2+21033.]]>