[发明专利]三氯硅烷的制造方法在审
| 申请号： | 201480008798.2 | 申请日： | 2014-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN105073638A | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 石田昌彦;齐藤弘;长谷川正幸 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01J31/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 鲁雯雯;金龙河 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在本发明所涉及的三氯硅烷的制造方法中，采用下述操作：在随着从含有甲基二氯硅烷(CH3HSiCl2)、四氯硅烷(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)的混合物(S)中除去甲基二氯硅烷而得到高纯度的三氯硅烷时，通过催化处理，在甲基二氯硅烷与四氯硅烷之间进行氯原子的重分配而转变为三氯硅烷和甲基三氯硅烷(CH3SiCl3)。与作为精制对象的三氯硅烷(沸点32℃)沸点接近的甲基二氯硅烷(沸点41℃)通过与四氯硅烷之间进行氯原子的重分配而转变为沸点更高的甲基三氯硅烷(沸点66℃)，杂质除去变容易。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种三氯硅烷的制造方法，其是随着从含有甲基二氯硅烷(CH3HSiCl2)、四氯硅烷(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)的混合物(S)中除去甲基二氯硅烷而得到高纯度的三氯硅烷的方法，具备下述的A、B和C的操作，A：对所述混合物(S)进行蒸馏而分馏甲基二氯硅烷含有率比该混合物(S)高的馏分(Mhm)的操作；B：向所述馏分(Mhm)追加四氯硅烷，将得到的混合物(Mmt)用使氯原子重分配的催化剂处理，在甲基二氯硅烷与四氯硅烷之间进行氯原子的重分配而转变为三氯硅烷和甲基三氯硅烷(CH3SiCl3)的操作；C：对由所述操作B得到的混合物(Mdc)进行蒸馏，分离除去以高浓度含有甲基三氯硅烷的组分的操作。
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