[发明专利]高分辨率振幅反差成像在审
| 申请号： | 201480008838.3 | 申请日： | 2014-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN105143864A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | D·范德克;U·洛肯;H·施塔克;S·巴尔斯 | 申请（专利权）人： | 安特卫普大学;FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 蔡悦 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 本发明描述了一种用于进行柔软物质目标(17)的高分辨率电子显微术的方法。所述方法包括利用具有球面像差校正(10)的电子显微镜(1)照射柔软物质目标，所述球面像差校正在散射在柔软物质目标上的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数。所述方法包括检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子，然后利用所检测的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 振幅 反差 成像 | ||
【主权项】：
一种用于进行目标的高分辨率电子显微术的方法，所述方法包括：‑利用具有球面像差校正的电子显微镜照射柔软物质目标，所述球面像差校正在以原子级分辨率在所述目标上散射的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数，其特征在于，所述方法包括：‑检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子，然后利用所检测到的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。
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