[发明专利]检测器、PET装置和X射线CT装置

摘要

本发明的检测器的各个半导体芯片具备：半导体基板，其具有多个光检测部；绝缘层，其形成在半导体基板的表面上；共用电极，其配置在绝缘层上；读出配线，其将各个光检测部的降压电阻与共用电极电连接；以及贯通电极，其从共用电极经由半导体基板的贯通孔而延伸至半导体基板的背面。

主权项

1.一种检测器，其特征在于：是具备配线基板、二维状相互隔开地配置在所述配线基板上的多个半导体芯片、以及配置在各个所述半导体芯片与所述配线基板之间的第1和第2凸块电极的检测器，各个所述半导体芯片具备：半导体基板，其具有二维状配置的多个光检测部；绝缘层，其形成在所述半导体基板的表面上；共用电极，其配置在所述绝缘层上；读出配线，其将各个所述光检测部的降压电阻与所述共用电极电连接；以及贯通电极，其从所述共用电极经由所述半导体基板的贯通孔而延伸至所述半导体基板的背面，各个所述光检测部具备：雪崩光电二极管，其具备第1导电型的第1半导体区域、以及与所述第1半导体区域构成pn结，并输出载流子的第2导电型的第2半导体区域；以及所述降压电阻，其与所述雪崩光电二极管的所述第2半导体区域电连接，所述第1凸块电极将所述贯通电极与所述配线基板电连接；所述第2凸块电极将所述雪崩光电二极管的所述第1半导体区域与所述配线基板电连接，具备多个绝缘体，在各个所述半导体芯片上，粘接有各个所述绝缘体，所述共用电极设置于由所述光检测部包围的区域。