[发明专利]工序监视诊断装置有效

专利信息
申请号: 201480010812.2 申请日: 2014-03-12
公开(公告)号: CN105027014B 公开(公告)日: 2017-09-05
发明(设计)人: 山中理;长岩明弘;平冈由纪夫;山本胜也;佐野胜实;滨田知幸 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: G05B23/02 分类号: G05B23/02
代理公司: 永新专利商标代理有限公司72002 代理人: 徐冰冰,刘杰
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 具备收集并保持由工序传感器(121~1221)计测的多个计测变量的时间序列数据的数据收集保存单元(2);能够通过不区分输入和输出的多变量解析定义与计测变量相同数量的主成分的主成分运算单元(42);从多个计测变量中指定1个或者多个输出变量的输出变量指定单元(43);从主成分运算单元(42)中提取对由输出变量指定单元(43)指定的输出变量具有影响的主成分的输出关联主成分提取单元(44);使用由输出关联主成分提取单元(44)提取的主成分,计算并监视预先定义的异常检测用的概要统计量的概要统计量监视单元(62);以及针对由概要统计量监视单元(62)监视的统计量进行是否为异常的判断的概要统计量异常判定单元(63)。
搜索关键词: 工序 监视 诊断 装置
【主权项】:
一种工序监视诊断装置,具有能够以规定的周期计测对象工序的状态量、操作量的至少2个工序传感器,并监视任意的工序,其特征在于,具备:数据收集、保存单元,收集并保持由上述工序传感器计测的多个计测变量的时间序列数据;主成分运算单元,能够通过不区分输入和输出的多变量解析定义与上述计测变量相同数量的主成分;输出变量指定单元,从上述多个计测变量中指定1个或者多个输出变量;输出关联主成分提取单元,从上述主成分运算单元中提取对由上述输出变量指定单元指定的输出变量具有影响的主成分;概要统计量监视单元,使用由上述输出关联主成分提取单元提取的主成分,计算并监视预先定义的异常检测用的概要统计量;以及概要统计量异常判定单元,针对由上述概要统计量监视单元监视的统计量进行是否为异常的判断。
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