[发明专利]光学相控阵列

摘要

一种由大量纳米光子天线元件形成的光学相控阵列可用于将复杂图像投射至远场中。这些纳米光子相控阵列(包括所述纳米光子天线元件及波导)可使用互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺形成在单个硅芯片上。方向耦合器将来自所述波导的光倏逝地耦合至所述纳米光子天线元件，所述纳米光子天线元件将光发射为光束，所述光束具有被选择使得发射光束在所述远场干涉以产生期望图案的相位及振幅。在一些情况下，所述相控阵列中的每个天线可光学耦合至相应可变延迟线，诸如热光调谐波导或液体填充单元，其可用于变化所述天线的输出的相位(及所产生的远场干涉图案)。

主权项

一种用于从具有自由空间波长λ₀的相干光束形成远场辐射图案的光学相控阵列，所述光学相控阵列包括：至少一个波导，其用于引导所述相干光束；以及多个天线元件，其安置在所述至少一个波导的平面中且倏逝地耦合至所述至少一个波导，以发射所述相干光束的各自部分以形成所述远场辐射图案。