[发明专利]热耦合的石英圆顶热沉

摘要

本文描述的实施方式大体关于用于处理基板的设备。该设备大体包括处理腔室，该处理腔室具有在该处理腔室中的基板支撑件。多盏灯经定位以提供穿过光学透明窗而至基板的辐射能，基板定位于基板支撑件上。所述多盏灯定位于灯箱中。冷却通道形成于灯箱中。灯箱的表面与光学透明窗间隔一段距离，以在该表面与该窗之间形成间隙。该间隙起到流体通道的作用，并且适于在所述间隙中容纳流体，以助于冷却光学透明窗。形成于灯箱的表面中的诸如开口之类的多个紊流诱发特征诱发冷却流体的紊流，因而改善光学透明窗与灯箱之间的热传递。

主权项

1.一种处理腔室，所述处理腔室包括：腔室主体，所述腔室主体包括光学透明窗；灯箱，所述灯箱具有上表面且设置成与所述光学透明窗邻近，所述灯箱具有形成在所述灯箱的所述上表面内的多个开口，所述光学透明窗与所述灯箱之间有间隙，其中所述灯箱的所述上表面包括邻近所述间隙的紊流诱发特征，所述紊流诱发特征包括凸块或脊；多盏灯，所述多盏灯设置在所述灯箱中，并且所述多盏灯经定位以引导辐射能通过在所述灯箱的所述上表面内形成的多个开口；一个或多个冷却通道，所述一个或多个冷却通道设置在所述灯箱中，所述一个或多个冷却通道界定在所述多盏灯与所述灯箱的所述上表面之间，所述灯箱的的所述上表面设置在所述一个或多个冷却通道与所述间隙之间；以及温度控制单元，所述温度控制单元适于提供冷却流体至所述光学透明窗与所述灯箱之间的所述间隙。