[发明专利]用于加工蓝宝石的激光系统和方法有效
| 申请号： | 201480011223.6 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN105142853B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 维杰·坎恰拉;威廉·什叶纳;史蒂文·梅纳德;杰弗里·P·谢塞尔;马可·曼德斯;鲁兹贝赫·萨拉菲 | 申请（专利权）人： | IPG光子公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/12;B23K26/0622;B23K26/064;B23K26/402;G02B5/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用在准连续波(QCW)模式下操作的连续波激光器(在下文QCW激光器)以发出在约1060nm至1070nm的波长范围内的连贯的激光脉冲来执行对蓝宝石的激光加工。可以通过较低占空比(例如，在约1％和10％之间)并且在诸如氩或氦的惰性气体气氛中执行使用QCW激光器对蓝宝石的激光加工。使用QCW激光器对蓝宝石的激光加工可以进一步包括使用具有较短波长和/或脉冲持续时间的辅助激光器以改变蓝宝石衬底的特性以形成吸收中心，所述吸收中心便于将QCW激光器的激光脉冲耦接进入蓝宝石中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 蓝宝石 激光 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对蓝宝石衬底进行激光加工的方法，所述方法包括：周期性地启动电源以使连续波激光器产生脉冲，从而在准连续波(QCW)模式下操作激光器，以便发出波长在1060nm和1070nm之间的范围内的连贯的激光脉冲；将激光脉冲聚焦在蓝宝石衬底处；以及利用激光脉冲对蓝宝石衬底进行激光加工。
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