[发明专利]用于热处理腔室的高温测量过滤器

摘要

本文中所述的实施方式大体涉及在半导体基板的热处理期间的高温测量。更具体地，实施方式是关于用于热处理腔室的高温测量过滤器。在某些实施方式中，高温测量过滤器选择性地过滤选定的能量波长以改良高温计测量。高温测量过滤器可具有多种几何形状，这些几何形状可影响高温测量过滤器的功能。

主权项

一种用于热处理腔室中的设备，所述设备包括：透明介质，所述透明介质具有多个表面，所述多个表面包括顶表面和底表面，所述透明介质具有几何形状，其中所述透明介质中心区域的厚度小于所述透明介质周边区域的厚度，并且所述顶表面和所述底表面从所述周边区域向所述中心区域向内变锥形；反射性涂层，所述反射性涂层设置在所述顶表面和所述底表面上；折射率匹配材料，所述折射率匹配材料设置在所述反射性涂层上、邻近于所述顶表面和所述底表面的至少一个；和吸收性涂层，所述吸收性涂层设置在所述周边区域上。