[发明专利]超灵敏比率电容膨胀计以及相关方法有效
| 申请号： | 201480012275.5 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN105190297B | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | M·西蒙德斯 | 申请（专利权）人： | 量子设计国际股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/16 | 分类号： | G01N25/16;G01B7/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 马景辉 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种超灵敏比率电容膨胀计以及相关的方法。膨胀计(100)基于比率电容，或者在两个或更多个膨胀计的平行板电容器(201；202)之间测得的电容比提供电容测量。就这一点而言，不需要绝对容量桥，并且甚至更有利地是，与传统膨胀计相比大大降低了吸附气体的影响。比率电容膨胀计提供对称的构造，其降低了温度梯度的影响。此外，某些实施例提供V型槽设计，其中膨胀计的第二平行板电容器与第一平行板电容器沿着膨胀计单元的关键中心线形成角度，其由于更简单的磨削、金属化和组装而提高了可制造性。 | ||
| 搜索关键词： | 灵敏 比率 电容 膨胀 以及 相关 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超灵敏比率电容膨胀计单元，包括：第一单元部分，被配置成与第二单元部分嵌套以定义单元体积，第一单元部分和第二单元部分被于其间延伸的间隙所分开；第一平行板电容器，包括：耦合到第一单元部分的第一导板，以及耦合到第二单元部分的第一导板，其中第一单元部分的第一导板被配置成与第二单元部分的第一导板至少部分地重叠；第二平行板电容器，包括：耦合到第一单元部分的第二导板，以及耦合到第二单元部分的第二导板，其中第一单元部分的第二导板被配置成与第二单元部分的第二导板至少部分地重叠；以及从第一单元部分延伸横跨所述间隙到第二单元部分的第一通道，该第一通道包括：耦合到第一单元部分的第一通道的第一壁；以及耦合到第二单元部分的第一通道的第二壁，第一通道的第二壁配置成与第一通道的第一壁相对；第一通道的第一壁和相对的第二壁被配置成在其间接收样本；其中膨胀计单元被配置成随着第一通道的第一壁和第一通道的第二壁之间样本尺寸的变化测量第一平行板电容器和第二平行板电容器之间的比率电容变化。
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