[发明专利]冷却速率控制装置及包括其的铸锭生长装置有效
| 申请号： | 201480013120.3 | 申请日： | 2014-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN105189834B | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李原周;全洙仁 | 申请（专利权）人： | LG矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 武晨燕,胡春光 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用晶种由容纳在坩埚中的硅熔体生长铸锭的装置。该装置包括腔室，该腔室包括容放该坩埚的下部和生长的铸锭穿过的上部；以及冷却速率控制单元，该冷却速率控制单元设置在该腔室的上部以延伸到该腔室的下部，并且具有生长的铸锭穿过的孔，其中，该冷却速率控制单元包括用于保持铸锭温暖的绝热部件、设置在该绝热部件上方以冷却铸锭的冷却部件，以及设置在该绝热部件和该冷却部件之间以防止该冷却部件和该绝热部件之间热交换的阻挡部件。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 速率 控制 装置 包括 铸锭 生长 | ||
【主权项】：
一种铸锭生长装置，用于利用晶种由容纳在坩埚中的硅熔体生长铸锭，所述装置包括：腔室，所述腔室包括用于容放所述坩埚的下部和生长的铸锭穿过的上部；以及冷却速率控制单元，所述冷却速率控制单元设置在所述腔室的上部以延伸到所述腔室的下部，并且具有生长的铸锭穿过的孔，其中，所述冷却速率控制单元包括：形成所述冷却速率控制单元的轮廓的框架部件，并且所述框架部件包括在所述框架部件中的至少两个隔板；用于使所述铸锭绝热的绝热部件；设置在所述绝热部件上方以冷却所述铸锭的冷却部件；以及设置在所述绝热部件和所述冷却部件之间以防止所述绝热部件和所述冷却部件之间热交换的阻挡部件，其中，所述框架部件在所述绝热部件和所述阻挡部件之间以及在所述阻挡部件和所述冷却部件之间进行分隔。
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