[发明专利]高温处理腔室盖体

摘要

本文公开了用于处理腔室的盖体组件及包括盖体组件的处理腔室。盖体组件包括高温盖体模块及外壳。高温盖体模块设置成邻近处理腔室的处理衬里。柔性外壳设置在高温盖体模块的周围，且使用弹性环连接到所述高温盖体模块。

主权项

一种盖体组件，所述盖体组件包括：高温盖体模块，所述高温盖体模块具有底表面及顶表面，所述底表面设置成邻近处理腔室的处理配件；外壳，所述外壳在所述高温盖体模块周围，所述外壳包括中空筒状壁，所述中空筒状壁具有下端及上端，所述下端将设置成邻近处理腔室主体；以及弹性密封O形环，所述弹性密封O形环设置在所述外壳的所述中空筒状壁的所述上端与所述高温盖体模块的所述顶表面之间，其中，所述外壳为柔性的，以允许所述高温盖体模块在所述外壳内移动。