[发明专利]用于减少热效应的激光取样方法

摘要

一种用于在激光剥蚀发射光谱法中减少热效应的方法是包含在一靶材表面上沿着一分析线产生离散的剥蚀点。以下的至少一个也被实行。首先，该些剥蚀点是被设置成使得一对连续的剥蚀点是沿着该分析线彼此间隔开，并且通过另一剥蚀点彼此分开。其次，当该分析线包括大致平行相邻的分析线区段时，该些剥蚀点被设置成使得(A)一对连续的剥蚀点是在不同的分析线区段上，并且(B)当该些不同的分析线区段是彼此相邻时，该些连续的剥蚀点是被设置在沿着该些分析线区段的不同的纵长位置处。因此，一种隔离的剥蚀点的线性扫描可被产生。

主权项

一种用于在激光剥蚀发射光谱法中减少热效应的方法，其包括：在靶材表面上沿着在该靶材表面上的分析线并且用以下的至少一个来产生离散的剥蚀点：设置该些剥蚀点，使得一对连续的剥蚀点是沿着该分析线彼此间隔开并且通过该些剥蚀点中的另一个点彼此分开；及/或当该分析线包括分析线区段，而其中该些分析线区段是大致彼此相邻并且平行时，则：设置该些剥蚀点，使得一对连续的剥蚀点是在不同的分析线区段上；以及当该些不同的分析线区段是彼此相邻时，设置该些连续的剥蚀点以位在沿着该些分析线区段的不同的纵长位置处；借此产生隔离的剥蚀点的线性扫描。