[发明专利]以影像辨识为基础的烧蚀图案位置收回

摘要

本发明在此举例所述的具体态样大致关于储存所要的雷射位置的XYZ台座坐标以及于扫描放置过程期间所放置的烧蚀图案的核心影像；并且比较核心影像与相机或显微镜的目前视野的目前影像，后者包括会射中雷射的所在位置。这比较是用于实验进行期间以修正任何累积误差。尤其，本发明的具体态样关于基于软件的影像辨识的设备和方法，其修正将样品相对于确定锆石晶粒年代的分析系统的雷射来定位的开路系统中的误差。

主权项

一种于雷射烧蚀程序期间将雷射定位在支持表面上的样品的晶粒上的方法，其特征在于，包括：于扫描放置过程期间设定样品的包括多个所要雷射位置的烧蚀图案，包括：以移动控制系统来将该样品相对于雷射而定位到该样品上的该多个所要雷射位置，储存该多个所要雷射位置中每一个的位置坐标，且储存该多个所要雷射位置中每一个的核心影像；以及对所有的该多个所要雷射位置开始实验，包括：基于以经储存核心影像在该多个所要雷射位置中的经选择所要雷射位置的经储存坐标，而相对于该样品来将雷射位置定位到目前位置，比较该目前位置的目前影像与该经选择所要雷射位置的该经储存核心影像，基于该比较而决定位置误差，如果该位置误差不是在可接受度的窗口里，则基于该位置误差，以该移动控制系统来施加该雷射位置相对于该样品的补偿移动，以修正该位置误差，并且重复该比较和该决定的步骤，且如果该位置误差是在该可接受度的窗口里，则在该雷射位置上方发射雷射束射。