[发明专利]具有一致传感器表面区域的化学传感器有效
| 申请号： | 201480015992.3 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN105283758B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | K.费夫;J.欧文斯;S.李;J.巴斯蒂洛 | 申请（专利权）人： | 生命科技公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 赵华伟;谭祐祥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一个实施方式中，描述了化学传感器。化学传感器包括化学灵敏的场效应晶体管，其包括具有上表面的浮栅导体。材料限定延伸至所述浮栅导体的上表面的开孔。材料包括在第二电介质下方的第一电介质。导电元件接触所述浮栅导体的上表面并且沿着开孔的侧壁延伸一定的距离，所述距离由第一电介质的厚度限定。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质 化学传感器 导体 上表面 浮栅 开孔 场效应晶体管 传感器表面 侧壁延伸 导电元件 厚度限定 灵敏 延伸 | ||
【主权项】：
化学传感器，其包括：化学灵敏的场效应晶体管，其包括具有上表面的浮栅导体；材料，其限定延伸至所述浮栅导体的上表面的开孔；和导电元件，其接触所述浮栅导体的上表面并且沿着所述开孔的侧壁延伸一定的距离，所述距离由第一电介质的厚度限定；所述材料包括在第二电介质下方的第一电介质，其中所述开孔包括在所述第一电介质中的下部和在所述第二电介质中的上部，所述开孔的所述下部的宽度小于所述上部的宽度，使得所述导电元件在所述第一电介质的上表面之上延伸。
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