[发明专利]具有一致传感器表面区域的化学传感器有效
| 申请号： | 201480016068.7 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN105264366B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | K.费夫;J.欧文斯;S.李;J.巴斯蒂洛 | 申请（专利权）人： | 生命科技公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 赵华伟;谭祐祥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一个实施方式中，描述了化学传感器。化学传感器包括化学灵敏的场效应晶体管，其包括具有上表面的浮栅导体。材料限定延伸至所述浮栅导体的上表面的开孔，材料包括在第二电介质下方的第一电介质。导电元件接触所述浮栅导体的上表面并且沿着所述开孔的侧壁延伸一定的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 一致 传感器 表面 区域 化学 | ||
【主权项】：
1.化学传感器，其包括：化学灵敏的场效应晶体管，其包括具有上表面的浮栅导体；设置在所述浮栅导体的上表面上的电介质材料层，所述电介质材料层限定通孔，所述通孔中设置有导电金属，其中，所述通孔中的导电金属的顶表面与所述电介质材料层的顶表面齐平；材料，其限定延伸至设置在所述通孔中的导电金属的开孔，所述材料包括在第二电介质下方的第一电介质；和导电元件，其接触设置在所述通孔中的导电金属并且沿着所述开孔的侧壁延伸一定的距离，其中，所述距离由所述化学传感器的输出信号的最大信噪比来确定。
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