[发明专利]弹性波元件用复合基板及弹性波元件有效
| 申请号： | 201480016412.2 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN105164919B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 堀裕二;多井知义 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国爱知县名*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种弹性波元件用复合基板，其具备支承基板(1)以及与支承基板(1)接合、由压电单晶构成、传播弹性波的传播基板(3)。传播基板(3)具有所述压电单晶的晶格发生畸变的表面晶格畸变层(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 元件 复合 | ||
【主权项】：
一种弹性波元件用复合基板，其特征在于，具备支承基板、以及与所述支承基板接合、由压电单晶构成、传播弹性波的传播基板，所述传播基板具有与所述支承基板接合的接合面以及与该接合面相对侧的表面，所述传播基板在所述表面侧具有所述压电单晶的晶格发生畸变的表面晶格畸变层，所述表面晶格畸变层的厚度在15nm以下。
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