[发明专利]检测系统有效
| 申请号： | 201480016932.3 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105143862B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 格雷戈尔·皮茨科斯基;斯蒂芬·詹森;托马斯·爱莎 | 申请（专利权）人： | 亨内克系统有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 鲁异 |
| 地址： | 德国苏*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于就缺陷(20a、20b)尤其是在斜面或倾斜边缘上的缺陷来检测诸如晶片、太阳能电池或其中间阶段等的平面半导体物体(1)的检测方法，该检测方法包括以下步骤：在纵向传输方向(T)中沿传输路径(17)传输平面物体(1)，传输运动界定平面物体(1)的前缘(4)和后缘(5)，利用至少一个成像系统(8、9)，优选为摄像机在平面物体(1)沿传输路径(17)的运动期间连续拍摄平面物体(1)的尤其是平面物体(1)的前部和/或后部的多个图像，从多个图像中选择图像数据，该图像数据是从在成像系统(8、9)景深内的平面物体(1)的目标点拍摄的，基本通过所选择的图像数据识别平面物体(1)的缺陷(20a、20b)。本发明还涉及用于检测平面半导体物体的检测系统。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种检测方法，其用于检测半导体平面物体(1)的边缘(4、5、6)上的缺陷(20a、20b)，所述检测方法包括以下步骤：在传输方向(T)中沿传输路径(17)传输所述平面物体(1)，传输运动界定所述平面物体(1)的前缘(4)和后缘(5)，利用至少一个成像系统(8、9)，在所述平面物体(1)沿所述传输路径(17)的运动期间，连续拍摄所述平面物体(1)的前部和/或后部的多个图像，从所述多个图像中选择图像数据，其中所述图像数据是从在所述成像系统(8、9)景深内的所述平面物体(1)的目标点拍摄的，通过所选择的图像数据识别所述平面物体(1)的边缘(4、5、6)上的缺陷(20a、20b)。
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