[发明专利]绝缘检测装置及绝缘检测方法

摘要

本发明提供一种能更好地检测电火花的产生，进而能更好地将产生电火花的基板区别为不良品的绝缘检测技术。绝缘检测装置在向绝缘检测对象配线图形间的电压施加的开始至绝缘检测对象配线图形间的电压变稳定的所定时间为止的期间，检测因电压施加而产生的绝缘检测对象配线图形间的电压。在该期间，若检测到在绝缘检测对象配线图形间因产生的电火花而引起的电压降的发生，则将被检测基板判定为不良品(步骤S17、S18)。尤其，所述期间的供给电流根据绝缘检测对象配线图形中上流侧配线图形(高电位侧配线图形)上所形成的检测点的数量而进行设定(步骤S11)。

主权项

一种绝缘检测装置，用于进行被检测基板的绝缘检测，所述绝缘检测装置包括：电源设备，向在所述被检测基板上形成的多个配线图形中作为绝缘检测对象配线图形而被选择的上流侧配线图形和下流侧配线图形的两配线图形间，进行电压施加，电流调整设备，调整所述电压施加时来自所述电源设备的供给电流，电压检测设备，检测根据所述电压施加而产生的所述两配线图形间的电压，电压降检测设备，在所述电压施加的开始至所述两配线图形间的所述电压变稳定的所定时间(timing)为止的期间，检测在所述两配线图形间因产生的电火花而引起的电压降的产生与否，判定设备，如果通过所述电压降检测设备检测到所述电压降，则将所述被检测基板判定为不良品，记忆部，记忆在所述多个配线图形的各个配线图形上形成的检测点的数量，所述电流调整设备根据在所述上流侧配线图形上形成的检测点的数量即第一检测点数量调整所述供给电流。