[发明专利]SPR传感器元件和SPR传感器有效
申请号: | 201480017509.5 | 申请日: | 2014-02-26 |
公开(公告)号: | CN105074431B | 公开(公告)日: | 2018-04-24 |
发明(设计)人: | 尾崎真由;山形一斗;永冈直树;绀谷友广 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G01N21/03 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供具有非常优异的检测灵敏度的SPR传感器元件和SPR传感器。本发明的SPR传感器元件包括下包层;芯层,其设置成使所述芯层的至少一部分与该下包层相邻;以及金属层,其覆盖该芯层,其中,该芯层具有折射率均匀层和折射率梯度层,该折射率梯度层配置在该折射率均匀层与该金属层之间,该折射率梯度层的折射率为该折射率均匀层的折射率以上,在该折射率梯度层的厚度方向上,该折射率梯度层的折射率自该折射率梯度层的靠该折射率均匀层侧的表面朝向该金属层侧连续地增大。 | ||
搜索关键词: | spr 传感器 元件 | ||
【主权项】:
一种SPR传感器元件,其包括:下包层;芯层,其设置成使所述芯层的至少一部分与该下包层相邻;以及金属层,其覆盖该芯层,其中,该芯层具有折射率均匀层和折射率梯度层,该折射率梯度层配置在该折射率均匀层与该金属层之间,该折射率梯度层的折射率为该折射率均匀层的折射率以上,在该折射率梯度层的厚度方向上,该折射率梯度层的折射率自该折射率梯度层的靠该折射率均匀层侧的表面朝向该金属层侧连续地增大,所述折射率均匀层的折射率比所述下包层的折射率高0.010以上。
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