[发明专利]分层透明导电氧化物薄膜有效
| 申请号： | 201480017742.3 | 申请日： | 2014-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN105408270B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 加布里埃尔·P·阿格尼欧;因德雷杰特·杜塔;杰安-弗朗索瓦·奥达弟 | 申请（专利权）人： | 康宁公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了具有多个层及位于每一界面处的空隙的透明导电氧化物薄膜。平滑TCO表面无生长后处理并且具有在很大程度上可调谐雾度值。制造方法包括将导电氧化物的多个层涂覆至基板表面上，并且中断所述多个层之间的涂覆以在所述界面处形成多个空隙。 | ||
| 搜索关键词： | 透明导电氧化物薄膜 界面处 涂覆 导电氧化物 后处理 基板表面 可调谐 平滑 分层 雾度 中断 生长 制造 | ||
【主权项】：
1.一种包含透明导电氧化物薄膜的制品，所述透明导电氧化物薄膜设置在基板上，所述透明导电氧化物薄膜包含掺氟氧化锡，所述透明导电氧化物薄膜具有多个层、每一层之间的界面、位于每一界面处的多个空隙，其中所述多个空隙各自具有从0.5nm至3nm的直径。
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