[发明专利]形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、及形状测定程式有效
申请号: | 201480018343.9 | 申请日: | 2014-03-14 |
公开(公告)号: | CN105190228B | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | 神藤建太 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 郭晓宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 降低为设定点群数据的抽出区域的不便。该形状测定装置,具备将测定光投影于测定对象的测定区域的投影部,拍摄测定光投影的测定对象的摄影部,相对测定对象使投影部或摄影部相对移动以改变测定对象的测定区域的位置的移动机构,以及根据往各个不同测定区域投影该测定光时以该摄影部拍摄的该测定光的像的位置、设定从以该摄影部拍摄的拍摄图像算出该测定对象的位置所使用的图像信息的抽出区域的抽出区域设定部。 | ||
搜索关键词: | 形状 测定 装置 构造 制造 系统 方法 程式 | ||
【主权项】:
1.一种形状测定装置,具备:投影部,将测定光投影至测定对象的测定区域;摄影部,拍摄所述测定光所投影的所述测定区域的像;移动机构,使所述测定对象、所述投影部及所述摄影部的至少一个相对移动,以改变所述测定对象的测定区域的位置;以及抽出区域设定部,可通讯地连接于所述摄影部,根据分别往不同测定区域投影所述测定光时以所述摄影部拍摄的所述测定光的像的位置,设定用以从所述摄影部拍摄的拍摄图像算出所述测定对象的位置的,使在多个不同的测定区域测定的图像相加的图像信息的抽出区域。
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