[发明专利]多层反射镜组件有效
| 申请号： | 201480018990.X | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN105074536B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | P.科约卡鲁;S.摩塔拉;M.阿波斯托洛;F.特里厄尔齐 | 申请（专利权）人： | 索尔维特殊聚合物意大利有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B5/08;F24S23/70;F21V7/22;G02B1/14;G02B1/18;C08F214/18;C08F214/26;C08L27/12;G02B1/04;C23C14/02;C08J5/18;C08L27/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周李军;徐厚才 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明涉及用于制造多层反射镜组件的方法，由此提供的多层反射镜组件以及所述多层反射镜组件在不同应用中的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 多层反射镜 应用 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造多层反射镜组件的方法，所述方法包括以下步骤：(i)提供由组合物[组合物（C1）]构成的光学透明的层[层（L1）]，该组合物包含至少一种氟聚合物[聚合物（F）]，所述层（L1）具有内表面和外表面，(ii)在蚀刻气体的存在下通过射频辉光放电过程处理所述层（L1）的内表面，其中该蚀刻气体选自N2、NH3以及它们的混合物，并且(iii) 通过无电沉积将金属层[层（L2）]施加到如在步骤 (ii) 中提供的层（L1）的经处理的内表面上，所述层（L2）由组合物[组合物（C2）]组成，该组合物包含至少一种金属化合物[化合物（M）]。
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