[发明专利]具有选定的导热性的硬质材料层有效
| 申请号： | 201480019896.6 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN105209656B | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·卢卡斯·索比希;塞巴斯蒂安·施泰因;保罗·海因里希·米夏埃尔·伯特格尔;瓦勒里·施克罗尔;耶格·帕切德 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔;苏黎世联邦理工学院;瑞士联邦材料科学与技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/06;C23C28/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司11129 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硬质材料层体系，其具有多层的层结构，该硬质材料层体系包含交替的层A和层B，其中，层A具有按照原子百分比的组成MeApAOnANmA，而层B具有按照原子百分比的组成MeBpBOnBNmB，其中，该层A的导热性大于该层B的导热性；b.MeA和MeB分别包含Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W和Al组中的至少一种金属；pA表示MeA的原子百分比，pB表示MeB的原子百分比，并且以下条件成立pA＝pB；nA表示层A中的按照原子百分比的氧浓度，nB表示层B中的按照原子百分比的氧浓度，并且以下条件成立nA＜nB，并且mA表示层A中的按照原子百分比的氮浓度，mB表示在层B中的按照原子百分比的氮浓度，并且以下条件成立pA/(nA+mA)＝pB/(nB+mB)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 选定 导热性 硬质 材料 | ||
【主权项】：
一种硬质材料层体系，其沉积在基材表面上并具有多层的层结构，该硬质材料层体系包含交替的层A和层B，其中，层A具有按照原子百分比的组成MeApAOnANmA，而层B具有按照原子百分比的组成MeBpBOnBNmB，其中，a.该层A的导热性大于该层B的导热性，b.MeA和MeB分别包含Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W和Al组中的至少一种金属，c.pA表示MeA的原子百分比，pB表示MeB的原子百分比，并且以下条件成立：pA＝pB，d.nA表示层A中的按照原子百分比的氧浓度，nB表示层B中的按照原子百分比的氧浓度，并且以下条件成立：nA<nB，并且e.mA表示层A中的按照原子百分比的氮浓度，mB表示在层B中的按照原子百分比的氮浓度，并且以下条件成立：pA/(nA+mA)＝pB/(nB+mB)，其中，5％≤nB≤30％，并且遵从：pA+nA+mA＝pB+nB+mB＝100％，其中，至少一个层A或一个层B沿至少一部分层厚具有分梯度的氧浓度，或者该硬质材料层体系包括至少另一个MepOnNm类型的硬质材料层，其中，n≥0，Me＝MeA并且p＝pA或者Me＝MeB并且p＝pB，该硬质材料层沿至少一部分层厚具有分梯度的氧浓度。
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