[发明专利]转速传感器

摘要

一种微机械结构、尤其转速传感器，其具有衬底，所述衬底具有主延伸面，具有第一克里奥利元件、第二克里奥利元件、至少一个用于使所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件从静止位置偏转的驱动装置和至少一个探测装置，其特征在于，所述第一克里奥利元件相对于平行于所述主延伸面延伸的第一轴线相对于所述第二克里奥利元件质量对称地构造，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件具有一个共同的主延伸面，其中，所述共同的主延伸面在静止位置中与所述衬底的主延伸面平行地延伸，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件相对于垂直于所述第一轴线延伸的第二轴线分别质量对称地构造，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件能够通过所述驱动装置驱动成围绕所述第一轴线的旋转振动，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件在平行于所述第二轴线在所述主延伸面上的投影作用的转速的情形中为了克里奥利力的力作用能够在围绕垂直于所述主延伸面延伸的并且经过所述第一轴线和所述第二轴线的交点延伸的第三轴线的旋转振动的意义上偏转，其中，所述微机械结构具有至少一个第一偏转元件和至少一个第二偏转元件，其中，所述第一偏转元件和所述第二偏转元件相对于所述第一轴线并且相对于所述第二轴线质量对称地构造，其中，所述第一偏转元件至少与所述第一克里奥利元件而所述第二偏转元件至少与所述第二克里奥利元件如此耦合，使得所述克里奥利力在所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件上的力作用能够在所述第一偏转元件和所述第二偏转元件围绕所述第三轴线的旋转振动的意义上通过所述探测装置探测。

主权项

1.一种微机械结构(1)，其具有衬底(2)、第一克里奥利元件(3a)、第二克里奥利元件(3b)、至少一个用于使所述第一克里奥利元件(3a)和所述第二克里奥利元件(3b)从静止位置偏转的驱动装置(5)和至少一个探测装置(4)，所述衬底具有主延伸面(100)，其特征在于，所述第一克里奥利元件(3a)相对于平行于所述主延伸面(100)延伸的第一轴线(101)相对于所述第二克里奥利元件(3b)质量对称地构造，其中，所述第一克里奥利元件(3a)和所述第二克里奥利元件(3b)具有一个共同的主延伸面，其中，所述共同的主延伸面在静止位置中与所述衬底的主延伸面(100)平行地延伸，其中，所述第一克里奥利元件(3a)和所述第二克里奥利元件(3b)相对于垂直于所述第一轴线(101)延伸的第二轴线(102)分别质量对称地构造，其中，所述第一克里奥利元件(3a)和所述第二克里奥利元件(3b)能够通过所述驱动装置(5)驱动成围绕所述第一轴线(101)的旋转振动，其中，所述第一克里奥利元件(3a)和所述第二克里奥利元件(3b)在平行于所述第二轴线(102)在所述主延伸面(100)上的投影作用的转速(X)的情形中为了克里奥利力的力作用能够在围绕垂直于所述主延伸面(100)延伸的并且经过所述第一轴线(101)和所述第二轴线(102)的交点延伸的第三轴线(103)的旋转振动的意义上偏转，其中，所述微机械结构具有至少一个第一偏转元件(7a)和至少一个第二偏转元件(7b)，其中，所述第一偏转元件(7a)相对于第一轴线(101)相对所述第二偏转元件(7b)质量对称地并且相对于第二轴线(102)相对其本身质量对称地构造及所述第二偏转元件(7b)相对于所述第一轴线(101)相对第一偏转元件(7a)质量对称地并且相对于所述第二轴线(102)相对其本身质量对称地构造，其中，所述第一偏转元件(7a)至少与所述第一克里奥利元件(3a)而所述第二偏转元件(7b)至少与所述第二克里奥利元件(3b)如此耦合，使得所述克里奥利力在所述第一克里奥利元件(3a)和所述第二克里奥利元件(3b)上的力作用能够在所述第一偏转元件(7a)和所述第二偏转元件(7b)围绕所述第三轴线(103)的旋转振动的意义上通过所述探测装置(4)探测，其中，所述驱动装置(5)具有位于所述第一轴线(101)附近的具有主延伸面的面电极，所述主延伸面平行于所述衬底的主延伸面(100)，其中，所述驱动装置(5)与所述第一轴线(101)的距离小于所述第一和/或第二克里奥利元件(3a，3b)沿着所述第二轴线(102)的延伸的40％，其中，所述第一偏转元件(7a)与所述第一克里奥利元件(3a)以及所述第二偏转元件(7b)与所述第二克里奥利元件(3b)的耦合相对于围绕所述第三轴线(103)的旋转振动硬地构造。