[发明专利]半导体装置的制造中使用的粘接片、切割带一体型粘接片、半导体装置、以及半导体装置的制造方法有效
申请号: | 201480020512.2 | 申请日: | 2014-04-03 |
公开(公告)号: | CN105102566B | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 志贺豪士;高本尚英 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | C09J7/30 | 分类号: | C09J7/30;C09J11/04;C09J133/00;H01L21/301;H01L21/60;H01L23/29;H01L23/31 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种粘接片,其为半导体装置的制造中使用的粘接片,所述粘接片含有平均粒径为0.3μm以下的填料和丙烯酸类树脂,填料的含量相对于粘接片整体在20~45重量%的范围内,丙烯酸类树脂的含量相对于全部树脂成分在40~70重量%的范围内。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 使用 粘接片 切割 体型 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种粘接片,其特征在于,其为半导体装置的制造中使用的粘接片,所述粘接片含有平均粒径小于0.1μm的填料和丙烯酸类树脂,所述填料的含量相对于粘接片整体在20~45重量%的范围内,所述丙烯酸类树脂的含量相对于全部树脂成分在40~70重量%的范围内。
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