[发明专利]用于RF功率测量的微制造热量计在审
| 申请号： | 201480022437.3 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN105143841A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | J·D·迈尔泽;A·H·泰塔斯;B·宁次;徐景 | 申请（专利权）人： | 伯德技术集团股份有限公司;纽约州立大学研究基金会 |
| 主分类号： | G01K17/00 | 分类号： | G01K17/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 罗攀;肖冰滨 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了射频(RF)功率热量计，其具有电耦合到RF输入的负载、电耦合到负载的可变低频电源并被配置成施加低频偏置到负载。RF功率热量计包括热耦合到负载的热介质。此外，RF功率热量计包括热耦合到热介质的出口温度传感器，该出口温度传感器被设置用于测量由于所述负载加热导致的热介质的温度。RF功率热量计还具有电路，被配置成使用与RF负载热接触的热介质的温度测量结合低频偏置来测量电耦合到RF输入的RF源的平均功率。还公开了使用RF功率热量计测量RF功率的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 rf 功率 测量 制造 热量计 | ||
【主权项】：
一种射频(RF)功率热量计，包括：负载，电耦合到RF输入，该RF输入被配置成电耦合到RF电源；可变低频电源，电耦合到所述负载，该可变低频电源被配置成施加低频功率到所述负载；热介质，热耦合到所述负载；出口温度传感器，热耦合到所述热介质，该出口温度传感器被设置用于测量由于所述负载加热导致的所述热介质的温度；电路，被配置成通过以下计算电耦合到所述RF输入的所述RF源的功率：使用来自所述低频电源的可变偏置基于所述热介质的温度测量来确定所述RF源的平均功率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于伯德技术集团股份有限公司;纽约州立大学研究基金会，未经伯德技术集团股份有限公司;纽约州立大学研究基金会许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480022437.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种以含硼生铁为加硼剂制备含硼微合金钢的方法
- 下一篇：奶牛饲料添加剂
