[发明专利]具有波前操纵器的投射镜头

摘要

一种投射镜头，用于通过具有λ<260nm的操作波长的电磁辐射将布置于该投射镜头的物平面(OS)中的图案成像至该投射镜头的像平面中，该投射镜头包含多个光学元件，其具有布置在该物平面(OS)与该像平面之间的投射光束路径中的光学表面。提供波前操纵系统，用于动态地影响从该物平面传送到该像平面的投射辐射的波前。波前操纵系统具有第一操纵器，其具有布置在该投射光束路径中的第一操纵器表面(MS1)以及用于可逆地改变该第一操纵器表面的表面形状和/或折射率分布的第一致动装置(DR1)。第一操纵器配置为使得横跨该第一操纵器表面的具有最大直径DFP的光学使用区域，可根据特征周期PCHAR＝DFP/((NMAX+NMIN)/2)而产生该投射辐射的光学路径长度变化的最大值的数目NMAX>1和最小值的数目NMIN>1。第一操纵器表面布置为与该投射镜头的最近场平面(OS)相距有限第一距离(D1)，光学邻近于该场平面，使得从该场平面的场点出现的每一光束在该第一操纵器表面照明具有子孔径直径SAD的子孔径，且条件SAD/DFP<0.2在该第一操纵器表面处适用。

主权项

1.一种投射镜头(PO)，用于通过具有λ＜260nm的操作波长的电磁辐射将布置于该投射镜头的物平面(OS)中的图案成像至该投射镜头的像平面(IS)中，该投射镜头包含：多个光学元件，具有布置在该物平面(OS)与该像平面(IS)之间的投射光束路径中的光学表面，使得布置在该物平面中的图案能够通过所述光学元件成像至该像平面；以及波前操纵系统(WFM)，动态地影响从该物平面传送到该像平面的投射辐射的波前，其中：该波前操纵系统具有第一操纵器(MAN1)，其具有布置在该投射光束路径中的第一操纵器表面(MS1)以及用于可逆地改变该第一操纵器表面的表面形状和/或折射率分布的第一致动装置(DR1)；该第一操纵器配置为使得横跨该第一操纵器表面的具有有效直径DFP的光学使用区域，能够根据特征周期PCHAR＝DFP/((NMAX+NMIN)/2)而产生该投射辐射的光学路径长度变化的最大值的数目NMAX＞1和最小值的数目NMIN＞1；以及该第一操纵器表面布置为与该投射镜头的最近场平面相距有限第一距离(D1)，光学邻近于该场平面，使得从该场平面的场点出现的每一光束在该第一操纵器表面照明具有子孔径直径SAD的子孔径，且条件SAD/DFP＜0.2在该第一操纵器表面处适用，其中，该子孔径直径SAD为从单独场点出现的投射光的光束的直径。