[发明专利]用于制备硅烷的方法和装置有效
| 申请号： | 201480023055.2 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN105120998B | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | J.E.朗;H.劳莱德;E.米 | 申请（专利权）人： | 赢创德固赛有限公司 |
| 主分类号： | B01J12/00 | 分类号： | B01J12/00;C01B33/04;C07F7/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 邵长准,石克虎 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及通过甲硅烷在等离子体中转化用于制备二聚和/或三聚硅烷的方法和涉及用于进行所述方法的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 硅烷 方法 装置 | ||
【主权项】：
用于制备通式I的二聚和/或三聚硅烷的方法，(I)其中n = 0或1，其中i) 包含通式II的甲硅烷和氢气的反应物料流，其中所述反应物料流中的确定的氢气与甲硅烷的比例以体积百分比(体积%)计为15:1‑1:5，(II)ii) 经历气体放电，和iii) 由所得相获得式I的二聚和/或三聚硅烷，和通过氢气可透性的膜在所得相中设定确定的氢气分压与在选择的条件下为气态的硅烷的分压的比例。
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