[发明专利]包括多层涂层的光学元件及包括光学元件的光学装置在审
| 申请号： | 201480024171.6 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105190372A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | R.W.E.范德克鲁伊斯;S.尼亚贝罗;A.E.亚克欣;F.比柯克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G03F7/20;G21K1/06;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光学元件(50)，包含：基板(52)；以及施加于该基板(52)的多层涂层(51)，多层涂层包含：至少一个第一层系统(53)，其由相同构造的堆叠(X1至X4)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(53a-d)；以及至少一个第二层系统(54)，其由相同构造的堆叠(Y1，Y2)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(54a，54b)，其中在该多层涂层(51)的热负载时，第一层系统(53)经历各堆叠(X1至X4)的厚度(dX)的不可逆收缩，第二层系统(54)经历各堆叠(Y1，Y2)的厚度(dY)的不可逆膨胀。本发明还涉及一种包含至少一个这种光学元件(50)的光学装置，尤其是光刻设备。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 多层 涂层 光学 元件 装置 | ||
【主权项】：
一种光学元件(50)，包含：基板(52)；以及施加于所述基板(52)的多层涂层(51)，所述多层涂层包含：至少一个第一层系统(53)，由相同构造的堆叠(X1至X4)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(53a‑d)；以及至少一个第二层系统(54)，由相同构造的堆叠(Y1，Y2)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(54a，54b)，其中，在所述多层涂层(51)热负载时，所述第一层系统(53)经历各堆叠(X1至X4)的厚度(dX)的不可逆收缩，所述第二层系统(54)经历各堆叠(Y1，Y2)的厚度(dY)的不可逆膨胀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480024171.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
