[发明专利]用于自组装的模板和制造自组装图案的方法

摘要

本文中公开和要求保护的是用于定向嵌段共聚物膜中的图案的模板和制造该图案的方法。

主权项

1.用于定向嵌段共聚物膜中的图案的模板，所述嵌段共聚物具有两种或更多种自发分离的嵌段，所述模板包括：a.包含基底和在所述基底上的中性涂层的基板，所述中性涂层具有包含两个或更多个在其中蚀刻的沟槽的阵列；所述沟槽具有壁；以及b.在所述沟槽中的钉扎材料，所述钉扎材料对两种或更多种自发分离的嵌段之一具有比对两种或更多种自发分离的嵌段的任何其它嵌段更大的亲和力；其中不同化学亲和力的图案几乎不存在或不存在形貌图案化，但是可以通过将嵌段之一钉扎到嵌段对其具有亲和力的基底上的区域来对齐嵌段共聚物的分离相，和其中所述嵌段共聚物中的各嵌段具有特征长度，其中所述嵌段共聚物具有特征间距，其中所述钉扎材料涂覆在所述沟槽的壁上，并且其中所述沟槽以有效定向嵌段共聚物膜中的图案的方式定尺寸。