[发明专利]加速度传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种加速度传感器，包括基板，其具有基板表面；以及采样块，其能够在与基板表面平行的第一方向(x)上而相对于基板移动。采样块具有梳状电极，该梳状电极能够与采样块一起移动并且具有在第一方向(x)上延伸的多个齿。加速度传感器还包括对电极，其固定连接至基板，对电极具有固定梳状电极，其中所述固定梳状电极具有沿与第一方向(x)相反的方向延伸的多个齿。可动梳状电极的齿与固定梳状电极的齿相接合。加速度传感器还包括屏蔽电极，该屏蔽电极固定连接至基板，并且适合用于在采样块的偏转移动期间提高采样块的气动阻尼。

主权项

一种加速度传感器，包括：基板(1)，其包括基板表面；采样块(6)，其能够沿与所述基板表面大致平行的正偏转方向x而相对于所述基板(1)移动，其中，所述采样块(6)包括能够与所述采样块一起移动的可动梳状电极(7a)，并且所述可动梳状电极(7a)包括沿所述正偏转方向x延伸的多个齿(8a)；对电极(2a)，其固定连接至所述基板(1)，其中，所述对电极(2a)包括固定梳状电极(3a)，所述固定梳状电极(3a)包括沿与所述正偏转方向x相反的方向延伸的多个齿(4a)，并且所述可动梳状电极(7a)的齿(8a)与所述固定梳状电极(3a)的齿(4a)相接合；以及屏蔽电极(9a)，其固定连接至所述基板(1)，所述屏蔽电极(9a)适合用于在所述采样块(6)的偏转移动期间提高所述采样块(6)的气动阻尼，其中，所述可动梳状电极(7a)包括梳前向侧，其中所述梳前向侧具有与所述正偏转方向x大致垂直的梳前向表面；所述屏蔽电极(9a)包括与所述梳前向表面大致平行的屏蔽电极表面；所述梳前向表面和所述屏蔽电极表面彼此相对；所述梳前向表面与所述屏蔽电极表面之间的距离在所述采样块(6)的偏转移动期间发生变化；以及所述距离的变化适合用于提高所述采样块(6)的气动阻尼。