[发明专利]声光调制器的装置和调制原理有效
| 申请号： | 201480025376.6 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN105209975B | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | P.斯滕斯特罗姆;C.哈特曼;T.桑德斯特罗姆 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 陈金林 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于高度精确地图案化装置，例如大区域光掩模的激光写入器，具有数值调制器，其计算要供给至声光调制器的调制器RF的瞬时值。进一步改进允许通过减少声光调制器中的RF功率变化来通过相位控制和减少的误差来增加分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 声光 调制器 装置 调制 原理 | ||
【主权项】：
一种通过简化缩写为AOM的声光调制器的操作提供同步激光扫描系统的方法，所述声光调制器用于调制激光束，并改进对所述激光束的相位控制，所述方法包括：数字计算具有表示图像图案数据的波形振幅调制和相位控制的波形的样本点；提供缩写为DAC的数字模拟转换器，用于将数字波形样本点转换为模拟射频信号，射频缩写为RF，其中，所述模拟RF信号的频率为图像图案数据频率的整数倍；以及将模拟RF信号施加到AOM换能器，以调制激光束，并产生图像。
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