[发明专利]使用顺应性材料进行的圆顶冷却

摘要

本文所述的实施方式大体涉及用于处理基板的设备。该设备大体包括处理腔室，该处理腔室包括灯箱，该灯箱包括多个灯，且定位成与光学透明窗邻近。灯箱内的灯提供辐射能至定位于基板支撑件上的基板。使用灯箱中的冷却通道有助于光学透明窗的温度控制。使用顺应性导体将灯箱热耦接至光学透明窗。这些顺应性导体维持均一的传导长度，而与光学透明窗和灯箱的机械加工公差无关。均一的传导长度促进精确的温度控制。因为顺应性导体的长度是均一的而与腔室部件的机械加工公差无关，所以对不同的处理腔室而言，传导长度是相同的。因此，多个处理腔室之间的温度控制是均匀的，从而减少腔室与腔室间的变化。

主权项

一种处理腔室，所述处理腔室包括：腔室主体，所述腔室主体包括光学透明窗；灯箱，所述灯箱设置成与所述光学透明窗邻近，所述光学透明窗与所述灯箱之间有间隙，且一个或多个冷却通道设置在所述灯箱中；及多个顺应性导体，所述多个顺应性导体设置在所述灯箱与透明窗之间的所述间隙中，且与所述灯箱和透明窗接触。