[发明专利]电接触装置在审
申请号: | 201480026135.3 | 申请日: | 2014-03-25 |
公开(公告)号: | CN105308465A | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 贡特尔·伯姆;格奥尔格·施泰德勒;W·舍费尔;阿希姆·韦兰德 | 申请(专利权)人: | 精炼金属股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;H01R12/71;H01R12/85;G01R31/28 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳;郑泰强 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于测试件(5)、尤其是晶片沿接触方向(15)进行电物理接触的电接触装置(1),其具有至少一个可与测试装置电连接的导体基板(2),至少一个接触间隙变换器(4)和至少一个具有电接触元件(9)并特别用于补偿沿接触方向(19)在接触元件中形成的不同物理接触间隙的接触头(3)。接触头(3)设置在导体基板(2)和接触间隙变换器(4)之间。 | ||
搜索关键词: | 接触 装置 | ||
【主权项】:
一种电接触装置,用于测试件、尤其是晶片的沿接触方向进行的电物理接触,所述电接触装置具有至少一个能与测试装置电连接的导体基板,至少一个接触间隙变换器和至少一个具有电接触元件的接触头,其特征在于,所述接触头(3)被设置在所述导体基板(2)和所述接触间隙变换器(4)之间。
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