[发明专利]用于受控宽带微波加热的方法和装置有效
| 申请号： | 201480027265.9 | 申请日： | 2014-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN105379416B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 克莱顿·R·德卡米里斯;约瑟夫·M·万德斯;理查德·C·黑兹尔赫斯特;迈克尔·L·汉普顿 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05B6/66 | 分类号： | H05B6/66 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种材料处理系统包括热处理腔室和宽带微波电源。所述电源包括恒温箱型小信号RF电路、高功率微波放大器、以及彼此由隔离器来分开的正向和反射功率检波器。所述功率检波器也优选地是恒温箱型(ovenized)。控制系统提供控制信号给小信号电路中的热稳定的VOC和VCA，从而基于所检出的正向功率而非基于所需正向功率来控制输出功率。所述系统可在开环或闭环模式下运行。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 受控 宽带 微波 加热 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种宽带微波加热装置，所述宽带微波加热装置包括：施加器空腔，所述施加器空腔用于将工件暴露于微波能量；和微波电源，所述微波电源连接至所述施加器空腔，所述微波电源包括：小信号RF源，所述小信号RF源至少包括电压受控的微波振荡器和电压受控的衰减器，两者在高于环境的选定温度下是热稳定的；高功率微波放大器，所述高功率微波放大器将所述小信号放大至有用功率水平以进行加热；正向和反射功率检波器，所述检波器通过微波隔离器彼此分开；以及使用功率调节器的控制系统，其中当所测量的正向功率信号为高或低时，所述功率调节器输出将添加至当前功率命令，以便生成改进功率设定值点。
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