[发明专利]等离子体发射监测仪及工艺气体输送系统有效
| 申请号： | 201480027297.9 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN105431566B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 基思·J·伯罗斯;克里斯托弗·L·格鲁贝尔;克劳斯·H·W·哈尔蒂希 | 申请（专利权）人： | 卡迪奈尔镀膜玻璃公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/00;C23C14/54;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 胡春光;张颖玲 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于将气体输送到溅射室的气体歧管设置有端口(116)以容纳等离子体发射监测仪，以监测所述溅射室中的等离子体信息，以提供反馈控制。所述等离子体发射监测仪的准直器暴露于气流中，并且所述监测仪的涂覆因此被大大减少。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发射 监测 工艺 气体 输送 系统 | ||
【主权项】：
1.一种在反应溅射室中使用的气体输送系统，所述系统包括：气体歧管，所述气体歧管具有进气端口和多个出气端口，当所述系统处于使用中时所述出气端口指向将与基底垂直的第一方向，所述进气端口操作性地联接至气体供应设备以便接收处于选定气压下的气体，并且所述多个出气端口中的每个都位于所述溅射室内，所述进气端口经由具有至少大体上相等的传导性的路径与所述多个出气端口中的每个流体连通；以及准直器端口，所述准直器端口与所述出气端口中的一个流体连通，其中，所述准直器端口相对于所述出气端口中的一个以非平行的定向成角度，使得当光学探针的透镜端被容纳在所述准直器端口中时其透镜端暴露于流向与所述准直器端口流体连通的出气端口的气体中，所述光学探针操作性地联接至等离子体发射监测仪。
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