[发明专利]具有圆形输出光束的高效单通型谐波发生器

摘要

一种外腔谐波发生器系统可以根据标称圆形的、无象散衍射受限的输入基波光束，产生圆形的无象散的三次谐波输出光束。所述系统包括二次谐波产生SHG晶体。所述基波光束尺寸在SHG晶体输入面上沿SHG晶体的非走离方向扩展。高次谐波产生晶体具有布置为沿HHG晶体的非走离方向具有入射斜角的输出面，使得输出的高次谐波光束尺寸沿所述方向收缩。输入基波光束在SHG晶体的输入面处的扩展超过三次谐波光束在HHG晶体的输出面处的减小。

主权项

1.一种外腔谐波发生器系统，配置为根据标称圆形的无象散衍射受限的输入基波光束产生圆形的无象散的三次谐波输出光束，所述系统包括：二次谐波产生SHG晶体，具有相对于输入基波光束具有入射角朝向的输入面，其中所述基波光束尺寸在输入面上沿SHG晶体的非走离方向扩展，所述SHG晶体配置为根据输入基波光束产生二次谐波光束；三次谐波产生THG晶体，具有沿THG晶体的非走离方向具有入射斜角朝向的输出面，使得三次谐波光束尺寸沿所述方向收缩，所述THG晶体配置为根据来自SHG晶体的二次谐波光束和剩余基波光束来产生三次谐波光束；其中所述输入基波光束在SHG晶体的输入面处沿所述SHG晶体的非走离方向的扩展超过所述三次谐波光束在THG晶体的输出面处沿所述THG晶体的非走离方向的减小。