[发明专利]控制MEMSDVC控制波形以增加寿命的方法和技术有效
| 申请号： | 201480028457.1 | 申请日： | 2014-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN105228945B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 乔公国;詹姆斯·道格拉斯·霍夫曼;理查德·L·奈普;维克拉姆·乔希;罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩 | 申请（专利权）人： | 卡文迪什动力有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;H01G5/18;H01H59/00;H02N1/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413 | 代理人： | 谢攀,刘继富 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明总体上涉及在使得MEMES器件在接触表面上的冲击最小化的同时操作MEMS DVC的方法。通过在MEMS器件的拉近移动时减小驱动电压，减小MEMS器件朝接触表面的加速，由此减小冲击速度，发生更少的MEMS DVC器件的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 mems dvc 波形 增加 寿命 方法 技术 | ||
【主权项】：
一种操作MEMS DVC器件的方法，所述MEMS DVC包括：第一电极，其具有被布置在其上的第一介电层，具有第一接触表面；第二电极，其具有被布置在其上的第二介电层，具有第二接触表面；被布置在空腔中并且能够在所述第一接触表面和第二接触表面之间移动的MEMS器件；和耦合到所述第一电极或所述第二电极的第一电极电压驱动器；所述方法包括：在第一时间段向所述第一电极或所述第二电极施加第一电压；将所述第一电压增大到第二电压，其中，该增大在第二时间段发生，并且其中所述第二电压达到所述MEMS器件的拉近电压；将所述第二电压减小到第三电压，其中，该减小在第三时间段发生；将所述第三电压增大到第四电压，其中，该增大在第四时间段发生，并且其中，所述第四电压大于所述第二电压。
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