[发明专利]流量控制装置和流量控制方法有效
申请号: | 201480031184.6 | 申请日: | 2014-08-28 |
公开(公告)号: | CN105247434B | 公开(公告)日: | 2019-02-05 |
发明(设计)人: | 瀧尻兴太郎;清水圭太 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06;G05B11/32;G05B11/36 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 周善来;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 流量控制部包括:传感器模型存储部;输出流量模拟值的流量模拟值输出部,所述流量模拟值是当输入了流量设定值时所述传感器模型输出的流量值;反馈控制部,基于流量测量值和流量模拟值的偏差,输出流量反馈值;以及阀控制部,基于根据流量设定值计算出的流量前馈值和流量反馈值,控制向所述阀施加的阀施加电压,所述流量模拟值输出部在相对于流量设定值具有规定的时间延迟的状态下输出流量模拟值。 | ||
搜索关键词: | 流量 控制 装置 控制程序 | ||
【主权项】:
1.一种流量控制装置,其特征在于,所述流量控制装置包括:流量传感器,测量在流道内流动的流体的流量;阀,设置在所述流道上;以及流量控制部,基于由所述流量传感器测量出的流量测量值和流量设定值,通过所述阀控制流量,所述流量控制部包括:传感器模型存储部,存储传感器模型,所述传感器模型模拟所述流量传感器单体的响应特性;流量模拟值输出部,输出流量模拟值,所述流量模拟值是基于所述流量设定值和所述传感器模型计算出的流量值;反馈控制部,基于所述流量测量值和所述流量模拟值的偏差,输出流量反馈值;以及阀控制部,基于根据所述流量设定值计算出的流量前馈值和所述流量反馈值,控制所述阀,所述流量模拟值输出部输出包含规定的时间延迟的所述流量模拟值。
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