[发明专利]LED用图案晶片、LED用外延片以及LED用外延片的制造方法有效
| 申请号： | 201480031293.8 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN105247693B | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 古池润 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人： | 徐乐乐 |
| 地址： | 日本国东京都101-81*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | LED用图案晶片(10)在主面的至少一部分上具备具有实质上n次对称的排列的凹凸结构A(20)，对于凹凸结构A(20)的至少一部分，相对于其主面内的晶轴方向的、凹凸结构A(20)的排列轴A的旋转位移角θ满足0°＜θ≦(180/n)°，且凹凸结构A(20)的凸部顶部为曲率半径超过0的角部。在凹凸结构A(20)上按以下顺序层叠有第一半导体层(30)、发光半导体层(40)以及第二半导体层(50)，构成LED用外延片(100)。能够提供改善了裂缝以及内量子效率IQE的LED用图案晶片以及LED用外延片。 | ||
| 搜索关键词： | led 图案 晶片 外延 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种LED用图案晶片，其特征在于，在主面的至少一部分上具备具有实质上n次对称的排列的凹凸结构(A)，所述凹凸结构(A)的至少一部分满足如下条件，即，相对于所述主面内的LED用图案晶片晶轴方向的所述凹凸结构(A)的排列轴A的旋转位移角的最小角度θ为0°＜θ≦(180/n)°，且所述凹凸结构(A)的凸部顶部为曲率半径超过0的凸部顶部，所述凹凸结构(A)的所述凸部顶部的上表面由曲面构成。
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