[发明专利]用于测量样品的散射的设备有效
申请号: | 201480031509.0 | 申请日: | 2014-04-07 |
公开(公告)号: | CN105393106B | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 格特·辛恩;克劳斯-亨利克·米滕茨韦 | 申请(专利权)人: | 罗姆有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/53 | 分类号: | G01N21/53 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 丁永凡;张春水 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于测量样品(2)的散射的设备,该设备具有:用于接收样品(2)的散射辐射的至少一个第一散射接收器和第二散射接收器(16,17);和至少一个成像元件(6),经由所述成像元件,辐射能够到达至样品(2)并且从样品(2)到达至散射接收器(16,17)。根据本发明,第一散射接收器和第二散射接收器(16,17)设置在共同的平坦的或者至少近似球形弯曲的面(3)中,所述面垂直于成像元件(6)的光轴取向,其中第一散射接收器(16)构成和设置用于接收样品(2)的饱和的散射辐射,并且第二散射接收器(17)构成和设置用于接收所述样品(2)的线性的散射辐射。 | ||
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【主权项】:
一种用于测量样品(2)的散射的设备,所述设备具有:‑用于接收所述样品(2)的散射辐射的至少一个第一散射接收器和第二散射接收器(16,17);和‑至少一个成像元件(6),经由所述成像元件,辐射能够到达至所述样品(2)并且从所述样品(2)到达至所述散射接收器(16,17),其特征在于,所述第一散射接收器和所述第二散射接收器(16,17)设置在共同的平坦的或者至少近似球形弯曲的面(3)中,所述面垂直于所述成像元件(6)的光轴取向,其中所述第一散射接收器(16)构成和设置用于接收所述样品(2)的饱和的散射辐射,并且所述第二散射接收器(17)构成和设置用于接收所述样品(2)的线性的散射辐射。
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