[发明专利]弹性波元件

摘要

本发明提供弹性波元件，其通过使用加入有不同于以往的欧拉旋转角的旋转Y切型石英基板，可获得具有最适于高频振荡的规定相位速度且3次曲线良好的温度特性。本发明的弹性波元件11包括石英基板12，从具有由X轴、Y轴及Z轴构成的三维晶体取向的石英体中以使Y轴及Z轴绕X轴旋转的方式切出，以由右手系欧拉角(φ，θ，Ψ)规定的旋转角切割而成；以及形成在该石英基板12的表面的、激励板波的至少1个激励电极13；所述石英基板12是在旋转角为φ＝0±10°、θ＝110°～140°、Ψ＝30～50°的范围内进行切割，并且选择在25℃下进行泰勒展开时的1次温度系数α×10‑6处于‑1.0＜α＜+1.0的范围内、2次温度系数β×10‑8处于‑1.0＜β＜+1.0的范围内的板波作为振动模式。

主权项

一种弹性波元件，其包括：石英基板，其从具有由X轴、Y轴及Z轴构成的三维晶体取向的石英体中以使Y轴及Z轴绕X轴旋转的方式切出，以由右手系欧拉角(φ，θ，Ψ)规定的旋转角切割而成，板厚H/λ处于0.8＜H/λ＜1.4的范围；以及形成在该石英基板的表面的、激励板波的至少1个激励电极，所述弹性波元件的特征在于，所述石英基板是在旋转角为φ＝0±10°、θ＝110°～140°、Ψ＝30～50°的范围内进行切割的，并且将在25℃下进行泰勒展开时的1次温度系数α×10‑6处于‑1.0＜α＜+1.0的范围内、2次温度系数β×10‑8处于‑1.0＜β＜+1.0的范围内、且相位速度为3500～4500m/s的板波作为振动模式。